項目簡介

       主要對試樣微區的化學組成進行定性或定量分析；可以進行點、線掃描（得到成分分布信息）、面掃描（得到成分面分布圖像）；測試元素Be~U。相對EDS，檢測限更低，有標測試，對于輕元素、微量元素測試精度更高。

       常見項目

       電子探針（EPMA）、電子探針EPMA-遠程視頻

       結果展示

       ??

       常見問題

       1. EPMA成分分析屬于能譜還是波譜？
       EPMA中成分分析是波譜；

       2. EPMA在形貌和成分分析上，與SEM有哪些區別？
       電子探針(EPMA)具有顯微形貌觀察和成分分析的功能，與SEM+EDS相比，電子探針更側重成分分析。電子探針因出色的微區元素分析能力，特別是對于輕元素如C、N、O以及過渡金屬元素的分析，被廣泛應用于材料質量解析、失效分析及熱處理工藝等研究。

       3. EPMA中線掃、mapping是如何進行定量的？
       一般來說，需要選定幾個點進行點掃標定，根據標定結果，確定線掃、mapping區域的元素含量。