含Si物質酸溶前處理需要加入HF才能完全消解，但HF不能上機測試。不加HF會造成樣品消解不完全，Si含量偏低;加HF則與Si反應生成SiF4為氣體，也會造成測試結果偏低的情況。常規樣品，Si元素建議堿熔處理，但堿熔情況下，溶液基體效應較強，含量過低(<0.5%)時，測試結果仍會存在誤差。除此之外，如果樣品中含有Ba，Mg，Ca，Sr，Hg以及稀土元素等物質，可能會形成氟化物沉淀，造成元素含量偏低。